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濕度傳感器的發(fā)展趨勢(shì) |
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1 濕敏元件的特性
濕敏元件是最簡(jiǎn)單的濕竹炭竹纖維度傳感器。濕敏元件主要有電阻式、電容式兩大類(lèi)。
1.1 濕敏電阻
濕敏電阻的特點(diǎn)是在基片上覆蓋一層用感濕材料制成的膜，當(dāng)空氣中的水蒸氣吸附在感濕膜上時(shí)，元件的電阻率和電阻值都發(fā)生變化，利用這一特性即可測(cè)量濕度。濕敏電阻的種類(lèi)很多，例如金屬氧化物濕敏電阻、硅濕敏電阻、陶瓷濕敏電阻等。濕敏電阻的優(yōu)點(diǎn)是靈敏度高，主要缺點(diǎn)是線(xiàn)性度和產(chǎn)品的互換性差。
1.2 濕敏電容
濕敏電容一般是用高分子薄膜電容制成的，常用的高分子材料有聚苯乙烯、聚酰亞胺、酪酸醋酸纖維等。當(dāng)環(huán)境濕度發(fā)生改變時(shí)，濕敏電容的介電常數(shù)發(fā)生變化，使其電容量也發(fā)生變化，其電容變化量與相對(duì)濕度成正比。濕敏電容的主要優(yōu)點(diǎn)是靈敏度高、產(chǎn)品互換性好、響應(yīng)速度快、濕度的滯后量小、便于制造、容易實(shí)現(xiàn)小型化和集成化，其精度一般比濕敏電阻要低一些。國(guó)外生產(chǎn)濕敏電容的主要廠(chǎng)家有Hｕｍｉｒel公司、ＰｈｉlｉｐS公司、SｉeｍenS公司等。以Hｕｍｉｒel公司生產(chǎn)的SH1100型濕敏電容為例，其測(cè)量范圍是(1%～99%)RH，在55%RH時(shí)的電容量為180ｐＦ(典型值)。當(dāng)相對(duì)濕度從0變化到100%時(shí)，電容量的變化范圍是163ｐＦ～202ｐＦ。溫度系數(shù)為0.04ｐＦ/℃，濕度滯后量為±1.5%，響應(yīng)時(shí)間為5S。除電阻式、電容式濕敏元件之外，還有電解質(zhì)離子型濕敏元件、重量型濕敏元件(利用感濕膜重量的變化來(lái)改變振蕩頻率)、光強(qiáng)型濕敏元件、聲表面波濕敏元件等。濕敏元件的線(xiàn)性度及抗污染性差，在檢測(cè)環(huán)境濕度時(shí)，濕敏元件要長(zhǎng)期暴露在待測(cè)環(huán)境中，很容易被污染而影響其測(cè)量精度及長(zhǎng)期穩(wěn)定性。
2 集成濕度傳感器的性能特點(diǎn)及產(chǎn)品分類(lèi)
目前，國(guó)外生產(chǎn)集成濕度傳感器的主要廠(chǎng)家及典型產(chǎn)品分別為Honeｙｗell公司(HIH－3602、HIH－3605、HIH－3610型)，Hｕｍｉｒel公司(HM1500、HM1520、HＦ3223、HTＦ3223型)，SenSｉｒon公司(SHT11、SHT15型)。這些產(chǎn)品可分成以下三種類(lèi)型：
2.1 線(xiàn)性電壓輸出式集成濕度傳感器
典型產(chǎn)品有HIH3605/3610、HM1500/1520。其主要特點(diǎn)是采用恒壓供電，內(nèi)置放大電路，能輸出與相對(duì)濕度呈比例關(guān)系的伏特級(jí)電壓信號(hào)，響應(yīng)速度快，重復(fù)性好，抗污染能力強(qiáng)。
2.2 線(xiàn)性頻率輸出式集成濕度傳感器
典型產(chǎn)品為HＦ3223型。它采用模塊式結(jié)構(gòu)，屬于頻率輸出式集成濕度傳感器，在55%RH時(shí)的輸出頻率為8７50Hｚ(典型值)，當(dāng)相對(duì)濕度從10%變化到95%時(shí)，輸出頻率就從9560Hｚ減小到8030Hｚ。這種傳感器具有線(xiàn)性度好、抗干擾能力強(qiáng)、便于配數(shù)字電路或單片機(jī)、價(jià)格低等優(yōu)點(diǎn)。
2.3 頻率/溫度輸出式集成濕度傳感器
典型產(chǎn)品為HTＦ3223型。它除具有HＦ3223的功能以外，還增加了溫度信號(hào)輸出端，利用負(fù)溫度系數(shù)(NTC)熱敏電阻作為溫度傳感器。當(dāng)環(huán)境溫度變化時(shí)，其電阻值也相應(yīng)改變并且從NTC端引出，配上二次儀表即可測(cè)量出溫度值。 3 單片智能化濕度/溫度傳感器
2002年SenSｉｒon公司在世界上率先研制成功SHT11、SHT15型智能化濕度/溫度傳感器，其外形尺寸僅為７.6(ｍｍ)×5(ｍｍ)×2.5(ｍｍ)，體積與火柴頭相近。出廠(chǎng)前，每只傳感器都在濕度室中做過(guò)精密校準(zhǔn)，校準(zhǔn)系數(shù)被編成相應(yīng)的程序存入校準(zhǔn)存儲(chǔ)器中，在測(cè)量過(guò)程中可對(duì)相對(duì)濕度進(jìn)行自動(dòng)校準(zhǔn)。它們不僅能準(zhǔn)確測(cè)量相對(duì)濕度，還能測(cè)量溫度和露點(diǎn)。測(cè)量相對(duì)濕度的范圍是0～100%，分辨力達(dá)0.03%RH，最高精度為±2%RH。測(cè)量溫度的范圍是－40℃～＋123.8℃，分辨力為0.1℃。測(cè)量露點(diǎn)的精度＜±1℃。在測(cè)量濕度、溫度時(shí)A/D轉(zhuǎn)換器的位數(shù)分別可達(dá)12位、14位。利用降低分辨力的方法可以提高測(cè)量速率，減小芯片的功耗。SHT11/15的產(chǎn)品互換性好，響應(yīng)速度快，抗干擾能力強(qiáng)，不需要外部元件，適配各種單片機(jī)，可廣泛用于醫(yī)療設(shè)備及溫度/濕度調(diào)節(jié)系統(tǒng)中。芯片內(nèi)部包含相對(duì)濕度傳感器、溫度傳感器、放大器、14位A/D轉(zhuǎn)換器、校準(zhǔn)存儲(chǔ)器(Ｅ2ＰROM)、易失存儲(chǔ)器(RAM)、狀態(tài)寄存器、循環(huán)冗余校驗(yàn)碼(CRC)寄存器、二線(xiàn)串行接口、控制單元、加熱器及低電壓檢測(cè)電路。其測(cè)量原理是首先利用兩只傳感器分別產(chǎn)生相對(duì)濕度、溫度的信號(hào)，然后經(jīng)過(guò)放大，分別送至A/D轉(zhuǎn)換器進(jìn)行模/數(shù)轉(zhuǎn)換、校準(zhǔn)和糾錯(cuò)，最后通過(guò)二線(xiàn)串行接口將相對(duì)濕度及溫度的數(shù)據(jù)送至μC。鑒于SHT11/15輸出的相對(duì)濕度讀數(shù)值與被測(cè)相對(duì)濕度呈非線(xiàn)性關(guān)系，為獲得相對(duì)濕度的準(zhǔn)確數(shù)據(jù)，必須利用μC對(duì)讀數(shù)值進(jìn)行非線(xiàn)性補(bǔ)償。此外當(dāng)環(huán)境溫度TA≠＋25℃時(shí)，還需要對(duì)相對(duì)濕度傳感器進(jìn)行溫度補(bǔ)償。
芯片內(nèi)部有一個(gè)加熱器。將狀態(tài)寄存器的第2位置"1"時(shí)該加熱器接通電源，可使傳感器的溫度大約升高5℃，電源電流亦增加8ｍA(采用＋5Ｖ電源)。使用加熱器可實(shí)現(xiàn)以下三種功能：①通過(guò)比較加熱前后測(cè)出的相對(duì)濕度值及溫度值，可確定傳感器是否正常工作；②在潮濕環(huán)境下使用加熱器，可避免傳感器凝露；③測(cè)量露點(diǎn)時(shí)也需要使用加熱器。
露點(diǎn)也是濕度測(cè)量中的一個(gè)重要參數(shù)，它表示在水汽冷卻過(guò)程中最初發(fā)生結(jié)露的溫度。為了計(jì)算露點(diǎn)，SenSｉｒｉon公司還向用戶(hù)提供一個(gè)測(cè)量露點(diǎn)的程序"SHT1ｘｄｐ.ｂSｘ"。利用該程序可以控制內(nèi)部加熱器的通、斷，再根據(jù)所測(cè)得的溫度值及相對(duì)濕度值計(jì)算出露點(diǎn)。在命令響應(yīng)界面上運(yùn)行此程序時(shí)，計(jì)算機(jī)屏幕上就顯示提示符"＞"。用戶(hù)首先從鍵盤(pán)上輸入字母"S"，然后輸入相應(yīng)的數(shù)字，即可獲得下述結(jié)果：
輸入數(shù)字"1"時(shí)，測(cè)量并顯示出攝氏溫度ｄｇC＝ｘｘ.ｘ；
輸入數(shù)字"2"時(shí)，測(cè)量并顯示出相對(duì)濕度%RH＝ｘｘ.ｘ；
輸入數(shù)字"3"時(shí)，打開(kāi)加熱器，使傳感器溫度升高5℃；
輸入數(shù)字"4"時(shí)，關(guān)閉加熱器，使傳感器降溫；
輸入數(shù)字"5"時(shí)，顯示露點(diǎn)溫度ｄｐC＝ｘｘ.ｘ。
4 集成濕度傳感器典型產(chǎn)品的技術(shù)指標(biāo)
集成濕度傳感器典型產(chǎn)品的主要技術(shù)指標(biāo)詳見(jiàn)表1。由表可見(jiàn)，集成濕度傳感器的測(cè)量范圍一般可達(dá)到0～100%。但有的廠(chǎng)家為保證精度指標(biāo)而將測(cè)量范圍限制為10%～95%。設(shè)計(jì)＋3.3Ｖ低壓供電的濕度/溫度測(cè)試系統(tǒng)時(shí)，可選用SHT11、SHT15傳感器。這種傳感器在測(cè)量階段的工作電流為550μA，平均工作電流為28μA(12位)或2μA(8位)。上電時(shí)默認(rèn)為休眠模式(Sleeｐ Moｄe)，電源電流僅為0.3μA(典型值)。測(cè)量完畢只要沒(méi)有新的命令，就自動(dòng)返回休眠模式，能使芯片功耗降至最低。此外，它們還具有低電壓檢測(cè)功能。當(dāng)電源電壓低于＋2.45Ｖ±0.1Ｖ時(shí)，狀態(tài)寄存器的第6位立即更新，使芯片不工作，從而起到了保護(hù)作用
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